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        行業新聞
    鈦泵內部結構的除氣機理
    發布日期：2015-07-08  
    首先，對活性氣體的抽除：比如對于氮氣、氧氣、一氧化碳、二氧化碳等主要是靠著沉積于陽極筒內壁上的鈦膜的化學吸咐原理；對于氫氣的抽除，主要有化學吸咐也有擴散、吸收以及溶解等作用；相對于以上所說的除氣成份，隋性氣體就比較復雜一些，主要是靠離子，被電離的隋性氣體的離子轟擊陰極時，會有三種情況發生：其一，離子被打入陰極內呀邊緣的鈦演積層內；其二，斜射到表面，離子和鈦一起被掀掉而沉積在陰極板的周圍；最后一種情況就是沒有打入板內，反射到陽極內表面的鈦膜中。
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