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    升華泵及其設置方式
    發布日期:2015-07-22  
    升華泵主要部件是由活性金屬鈦制作的燈絲,通過大電流加熱,使鈦升華后吸附在腔體的內壁上。因為鈦的化學反應活性高,能抓到周圍的氣體分子并發生反應而生成穩定的化合物,從而達到真空的目的。升華泵長時間重重使用后,吸附在腔體內壁上的鈦膜厚度會增加。這樣鈦膜就吸附大量的氣體了,從而成為氫分子的釋放源。升華泵通常和離子泵或分子泵聯合使用,其排氣能力取決于鈦的升華速度和腔體內壁的表面積,升華泵的排氣量比離子泵大,在超高真空薄膜生長裝置中,通常在薄膜生長之前使用,使得薄膜生長在更高空環境下進行。
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